Stockage de données :
La fabrication de CD ou de DVD requiert un revêtement avec divers matériaux, l'un après l'autre, à une vitesse pouvant aller jusqu'à 1 disque par seconde. Seule l'utilisation de solutions de pompage robustes pour le sas de chargement et les chambres de pulvérisation peut permettre d'atteindre un rendement aussi élevé.
Solutions de pompage
Les pompes turbomoléculaires ATP adixen, fournies avec les pompes à palettes Pascal Series, ont démontré une grande fiabilité dans cet environnement exigeant et à forte production. Des centaines de pompes primaires ATP150 et 2021 sont installées à travers le monde.
Détection de fuites
Les détecteurs de fuites à hélium ASM 182-192 Series et ASM 142 Series sont tout à fait adaptés pour cette application.
Les jauges à vide AP2004 et ACC2009 garantissent une gestion précise et soutenue de la pression du sas de chargement et de la chambre de traitement.
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