Procédé simple :
Outre une grande fiabilité, l'aspiration rapide et la robustesse constituent des exigences clés pour de telles applications.
La gamme de pompes sèches autonomes avec commande à distance ADP/ADS Series 2 LM est la gamme adéquate pour une installation sur le lieu de fabrication.
Avec une capacité de pompage de 600 m3/h, la série 2 LM fournit un rendement élevé à haute pression pour l'aspiration rapide de chambres de sas de chargement et de transfert. Elle est également adaptée pour d'autres applications propres où des gaz non corrosifs et non agressifs doivent être pompés.
Pour toutes les applications finales telles que l'inspection de wafers, il est conseillé d'utiliser les petites pompes sèches ACP série 2.
En tant qu'acteur-clé dans le secteur du vide, adixenVacuum Products a développé la gamme A100 Series, un ensemble de pompes sèches légères intégrées. La gamme A100L a été développée en collaboration avec Applied Materials en 1999. Parmi les principaux avantages de ce concept, citons un débit plus rapide pour un encombrement réduit, des produits conviviaux (bruit et vibration faibles) et une haute fiabilité. Aujourd'hui, l'A100L, la pompe intégrée leader du marché, est présente dans toutes les usines de fabrication 300mm du monde.
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