Marchés & Applications

Semi-conducteurs

Pompes turbomoléculaires Maglev

Gamme de pompes turbomoléculaires à lévitation magnétique pour vide secondaire ultra-propre et très fiable.

Le nombre élevé de pompes Maglev Adixen proposées sur le marché mondial des semi-conducteurs depuis plus de 10 ans témoigne d'une grande fiabilité et de performances exceptionnelles.

La gamme de pompes Maglev Adixen pour semi-conducteurs regroupe des pompes dont le débit s'échelonne entre 400 l/s et 3200 l/s. Par conséquent, elles sont adaptées à la plupart des applications de semi-conducteurs, dont les dépôts par gravure du métal, de l'oxyde et du polysilicium ainsi que les implants. Elles comportent 5 paliers axiaux Maglev qui assurent une très longue durée de fonctionnement. La résistance des pompes Maglev Adixen est améliorée grâce à une possibilité de réglage de la température du boîtier de la pompe à 75°C, à un système de purge à l'azote efficace et à un revêtement spécial sur les pièces internes.