Grosses pompes sèches à vide pour procédés difficiles

Gamme ADKH: grosses pompes sèches pour les procédés difficiles

Basée sur la technologie éprouvée sur le terrain et développée durant les 15 dernières années pour l'industrie du semi-conducteur, Adixen propose une nouvelle gamme de pompes sèches à haute capacité, capable de répondre aux besoins des applications photovoltaïques difficiles comme le PECVD SiN, ou à des procédés du semiconducteur comme ALD ou TiN.
Cette gamme est composée de 2 versions AD63KH et AD73KH, suivant les flux et volumes à pomper.

Spécifications principales
• Grande vitesse de pompage (Jusqu'à 4950 m3/h)
• Version gros volumes/hauts flux (jusqu'à 75 slm de H2 en continu, et 10m3)
• Faible coût d'utilisation ( CoO)
   o Consommation électrique réduite
   o Faible consommation d'eau de refroidissement
   o Concept modulaire pour plus de flexibilité

Avantages
• La gamme AD3KH repose sur la technologie Roots multi-étagés, éprouvée de longue date, dont la consommation électrique est une des plus basses du marché.
• Compatible avec les procédés fluorés (axes et matériaux en fonte spéciale),
• Grande résistance aux poudres et gaz corrosifs,
• Compatible avec les réseaux de surveillance et de supervision,
• Châssis montés sur roulettes pour une maintenance aisée

Applications
• Procédés de fabrication de cellules photovoltaïques (ARC, PECVD)
• Procédés du semiconducteur (ALD, TiN,...)
• Compatible nettoyage NF3

Pour toute question, contacter Bertrand Seigeot: bertrand.seigeot@adixen.fr