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Pompes sèches pour procédés propres
A100L
La référence dans le concept des pompes intégrées.
Depuis 1999, date de la mise sur le marché de l'A100L, le concept de pompe intégrée est devenu un standard dans l'industrie du semiconducteur. L'A100L est aujourd'hui intégrée dans chaque usine de semiconducteur 300 mm dans le monde, et fournir des avantages reconnus aux acteurs clé de l'industrie.
Caractéristiques :
• Integration directe sur les équipements de wafer processing :
Simplification de la ligne de pompage et réduction significative des servitudes et des coûts de connection.
Simplification de la ligne de pompage et réduction significative des servitudes et des coûts de connection.
• Vitesse de pompage de 100 m3/h au niveau de point d'utilisation
Peut remplacer une pompe distante d'une capacité de 500 m3/h et accroit le rendement.
Peut remplacer une pompe distante d'une capacité de 500 m3/h et accroit le rendement.
• Silencieuse et Propre :
Conçue pour utilisation en salle blanche.
Conçue pour utilisation en salle blanche.
• Econome en énergie :
Réduit la consommation d'énergie dans les fabs.
Réduit la consommation d'énergie dans les fabs.
• Fiable :
Technologie Roots multi-étages adixen renommée sur le terrain.
Technologie Roots multi-étages adixen renommée sur le terrain.
La base installée la plus importante au monde
Applications:
• Load-locks
• Chambres de transfert
• PVD
• SEM
• Chambre de prétraitement
• Chambre de post-traitement
