Pompes sèches pour l'évacuation rapide des grands volumes

Gamme ADKL : Evacuation rapide des grands volumes

adixen Vacuum Products développe des produits dédiés au semi-conducteur depuis plus de 15 ans, et a ainsi capitalisé son expérience pour introduire une nouvelle gamme de pompes sèches à haute capacité.
Ces pompes sont capables de répondre aux besoins les plus contraignants concernant l'évacuation des sas (load-locks) pour les applications FPD (écrans plats), PV (cellules photovoltaïques), ou industrielles.
Suivant les besoins en terme de performances, deux versions sont disponibles : AD30KL et AD70KL.

Principales spécifications

• Grande vitesse de pompage (Mode "boost" automatique)
• Faible encombrement
• Faible coût d'utilisation (CoO)
  o  Consommation électrique réduite : mode standby automatique
  o  Faible consommation en eau de refroidissement
  o  Aucun besoin de purge N2
  o  Option écnonmie d'énergie "D1" possible

La gamme AKL a été spécialement étudiée pour réduire les coûts de fonctionnement.

Jusqu'à 50% de réduction de consommation électrique en comparaison aux solutions de pompage conventionnelles, l'un des plus bas débits d'eau de refroidissement et pas de purge N2 sont quelques unes des principales caractéristiques.

• AD30KL : V=500 litres, ATM-> 10-1 mbar, temps de pompage < 25 secondes
• AD70KL : V=1000 litres, ATM->10-1 mbar, temps de pompage < 34 secondes

Applications: 

      • Grands sas de chargement pour les écrans plats (FPD)
      • Sas pour les applications solaires photovoltaïques
      • Evacuation rapide des grands volumes
      • Application avec des grandes fréquences de cyclage