Documentation : |
||
|---|---|---|
|
|
Voir le flyer ADKL | Télécharger |
|
|
Demande de devis | Submit |
Pompes sèches pour l'évacuation rapide des grands volumes
Gamme ADKL
Gamme ADKL : Evacuation rapide des grands volumes
adixen Vacuum Products développe des produits dédiés au semi-conducteur depuis plus de 15 ans, et a ainsi capitalisé son expérience pour introduire une nouvelle gamme de pompes sèches à haute capacité.
Ces pompes sont capables de répondre aux besoins les plus contraignants concernant l'évacuation des sas (load-locks) pour les applications FPD (écrans plats), PV (cellules photovoltaïques), ou industrielles.
Suivant les besoins en terme de performances, deux versions sont disponibles : AD30KL et AD70KL.
Principales spécifications
- Grande vitesse de pompage (Mode "boost" automatique)
- Faible encombrement
- Faible coût d'utilisation (CoO)
o Consommation électrique réduite : mode standby automatique
o Faible consommation en eau de refroidissement
o Aucun besoin de purge N2
o Option écnonmie d'énergie "D1" possible
La gamme AKL a été spécialement étudiée pour réduire les coûts de fonctionnement.
Jusqu'à 50% de réduction de consommation électrique en comparaison aux solutions de pompage conventionnelles, l'un des plus bas débits d'eau de refroidissement et pas de purge N2 sont quelques unes des principales caractéristiques.
- AD30KL : V=500 litres, ATM-> 10-1 mbar, temps de pompage < 25 secondes
- AD70KL : V=1000 litres, ATM->10-1 mbar, temps de pompage < 34 secondes
Applications:
• Grands sas de chargement pour les écrans plats (FPD)
• Sas pour les applications solaires photovoltaïques
• Evacuation rapide des grands volumes
• Application avec des grandes fréquences de cyclage



