Pompe turbomoleculaire à palier magnétique hybride ATH 500 M
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Pompe turbomoleculaire à palier magnétique hybride

ATH 500 M

La  nouvelle  pompe Maglev ATH 500 M d’adixen Vacuum Products, un concentré de technologie garantissant la meilleure productivité de vos équipements

Leader sur le marché des pompes à palier magnétique, adixen Vacuum Products est fier de présenter sa nouvelle pompe à vide  hybride turbo-moléculaire à palier magnétique,
l’ ATH 500 M.

Cette pompe ATH500 M  dernière née d’une large gamme,  utilise  la technologie avancée de paliers magnétiques 5 axes. Avec son  électronique embarquée, l’intégration dans les équipements est facilitée.

Sa conception compacte et robuste  offre un haut niveau de fiabilité  pour les applications de   300 à 500 l/s et répond aux besoins applicatifs  pour les  brides  à partir de DN100 .

L’ATH 500 M remplace avantageusement  la plupart des pompes à roulements à bille avec des vitesses de pompage  similaires. Sa vitesse de rotation ajustable permet aussi d’optimiser les paramètres de pompage.

L’ATH 500M  répond aux besoins d’applications tels que :

• Dépôt (CVD, PVD, ALD, …)
- Disques durs
- Outils
- dépôt décoratif, …

• Instruments
- Microscopes électroniques
- Autres systèmes de métrologie

• Recherche et développement

• Chambres sous vide (transfert, sas, …)


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