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Applications liées à ce produit : |
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Pompe Turbomoléculaire
Série ATP
FIABILITÉ et PERFORMANCE: 5 modèles disponibles en 3 versions
La série ATP propose 12 modèles de pompes offrant des vitesse de pompage de 80 à 900 l/s dans la gamme des 10-9 mbar.
Trois versions sont disponibles:
• Version standard
• Version “C” pour le pompage des corrosifs
• Version “HPC” pour le pompage des gaz corrosifs
Les versions “C” et “HPC” sont équipées du joint dynamique inversé. Ce dispositif renforce l’effet de la purge d’azote. Il peut assurer seul une excellente protection lors des applications en ultravide.
Les nouveaux contrôleurs adixen de la gamme ACT permettent d’optimiser le pilotage et la surveillance des pompes turbomoléculaires. Dotés de nombreuses interfaces, les contrôleurs ACT s’intègrent facilement dans tout le système.
Bénéfices:
• Installation vide simplifiée sans by-pass de la pompe secondaire
• Robustesse aux événements accidentels (entrées d’air, chocs…)
• Moins sensible aux particules solides (dépôts, débris…)
Caractéristiques:
• Conductance interne importante
• Faible vitesse de rotation
• Jeux internes plus importants
Applications
• Production d’ultravide
• Simulation spatiale
• Dépôt de couches minces
• Accélérateur de particules
• Autres expériences de Physique Fondamentale
• Sources d’ions
• Analyse de surface
• Pompage de Loadlock
• Microscopie électronique
• RIE
• PVD
• Implantation d’ions
La série ATP propose 12 modèles de pompes offrant des vitesse de pompage de 80 à 900 l/s dans la gamme des 10-9 mbar.
Trois versions sont disponibles:
• Version standard
• Version “C” pour le pompage des corrosifs
• Version “HPC” pour le pompage des gaz corrosifs
Les versions “C” et “HPC” sont équipées du joint dynamique inversé. Ce dispositif renforce l’effet de la purge d’azote. Il peut assurer seul une excellente protection lors des applications en ultravide.
Les nouveaux contrôleurs adixen de la gamme ACT permettent d’optimiser le pilotage et la surveillance des pompes turbomoléculaires. Dotés de nombreuses interfaces, les contrôleurs ACT s’intègrent facilement dans tout le système.
Bénéfices:
• Installation vide simplifiée sans by-pass de la pompe secondaire
• Robustesse aux événements accidentels (entrées d’air, chocs…)
• Moins sensible aux particules solides (dépôts, débris…)
Caractéristiques:
• Conductance interne importante
• Faible vitesse de rotation
• Jeux internes plus importants
Applications
• Production d’ultravide
• Simulation spatiale
• Dépôt de couches minces
• Accélérateur de particules
• Autres expériences de Physique Fondamentale
• Sources d’ions
• Analyse de surface
• Pompage de Loadlock
• Microscopie électronique
• RIE
• PVD
• Implantation d’ions
