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Equipment Contamination Control Tool
Exhaust Pressure Control (EPC)
Exhaust Pressure Control (EPC) permet de réguler la pression à l'intérieur de la chambre de procédé sans utiliser de vanne (type « throttle valve).
Cela permet d'obtenir une meilleure uniformité de flux de gaz à l'intérieur de la chambre et d'éviter les contaminations particulaires induites par le mouvement de la vanne.
Adixen a mis au point cette technique innovante de régulation de pression pour les équipements de gravure 200 et 300mm possédant des pompes turbo moléculaires.
En jouant sur la pression d'extraction de la pompe turbo moléculaire, l'EPC agit sur la vitesse de rotation de celle-ci et par ce biais, permet une régulation très fine (temps de réponse <3s) de la pression à l'intérieur de la chambre de procédés.
Les avantages vus par nos clients :
- Diminution de la défectivité sur les équipements de gravure 200 et 300mm
- Amélioration du MTBC (temps entre 2 nettoyages)
- Amélioration des performances de régulation (temps de réponse, stabilité/consigne de pression
